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奉天科仪，三楼大会议室
“怎么样？小陈同学休息好了吗？”刘民学厂长关心的问道。
“我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长，再加上休息不好。眯一会就好了。”
“那就好。那就好。”科仪的几位科长，都长长舒了一口气。
在参观的过程中，陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们，心都悬了起来。他们搞不清楚，陈泉的脸色差，是因为身体原因，还是单纯的不满。
“希望这次意外，不会影响到对我们厂的评价。”
刘厂长还是有些不放心。
“没事，陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小，底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛，恢复得也快。不要介意。”
“那好，让我重新介绍吧。”
刘民学咳嗽了一声，吸引了所有人的注意。
创建于1958年的奉天科仪，属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代，有过辉煌的历史。
随着国门的打开，在进口产品的降维冲击下，奉天科仪的形式急转直下。
随着价格双轨制的取消，这两年奉天各企业的经济形势普遍向好，所以奉天科仪也在积极转型，例如进军农业机械市场，但效果越来越差。
......
“不知道，我们的这些介绍，是否足够详细？”刘民学厂长最后问。
“不错,不错。够了，够了。”
王湛已经在奉天两天了,对科仪的印像很是不错。
除了厂家本身的实力,也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远,沟通不方便。不说时间上的浪费，长途火车票也是紧俏物资的一种,不是想买就能买到的。
“在MOCVD领域，你们有什么积累吗？”
陈泉突然问到。奉天科仪的介绍，始终围绕着PVD类产品进行。
“MOCVD？”
刘民学有点意外,然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域，他并不熟悉。
“据我所知，MOCVD技术并不成熟，市面上好像还没有类似的产品吧。”
王青山有点不太确定。
MOCVD是从VPE基础上发展起来的新技术。
在MOCVD技术中,反应气体在高温下结合，形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应，形成材料和化合物半导体的外延。
不同于传统的硅半导体，这些半导体可以包含的组合III族和V族,II族和VI族,IV族或第IV族，V和VI族的元素。
MOCVD相关理论提出得很早,但真正走入实际验证,不过是近几年的事情。有一些厂家,自行改造定制MOCVD，但相关技术和产品,远远没有成熟到可以商用的程度。
“你想在MEMS中,弃用PVD，转用MOCVD设备？”王湛听到消息,也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗？MEMS工艺要做大的修改吗？”
“嗯，怎么说呢......”
陈泉陷入了沉思。
蓝光LED之所以在红光，绿光LED面世二十年之后,还不能量产,就是因为遇到难以克服的困难。
在蓝光LED领域，人类的最早研究,走的是GaN路线。但GaN的合成太困难。
另外,科研人员还发现,GaN除了具有很高的缺陷密度，因此，大多数人都转向了其他技术方向。
目前市场上，有些低亮度的蓝光LED商品售卖，其走的是SiC路线。但这条路线，从原理上，发光效率就不高。
因此大量的研究人员，又转向了ZnSe材料。ZnSe材料，无论是理论，还是实际发光效率，都取得了很大进展，但这条路线始终面对一个令人头疼的问题，那就是产品寿命。
蓝光LED的几条技术路线，每条都有自己不同的困难，全都被卡住了。
而‘他’就是通过定制MOCVD的方式，另辟蹊径，解决了GaN的制备问题。
......
“我和陈泉想定制两台MOCVD设备，做些预研。这部分研究工作，不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋，干脆把话接了过去。
“不影响到MEMS建厂，那就没有问题了。”
王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去，他的工作也很难做。
“而且我希望，这个定制设备的制造工作，就交给奉天科仪。”
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奉天科仪，三楼大会议室
“怎么样？小陈同学休息好了吗？”刘民学厂长关心的问道。
“我没事了。”陈泉的脸色已经恢复正常。“估计是昨天坐车时间太长，再加上休息不好。眯一会就好了。”
“那就好。那就好。”科仪的几位科长，都长长舒了一口气。
在参观的过程中，陈泉的脸色是越来越差。这让对考察报以厚望的主人们，心都悬了起来。他们搞不清楚，陈泉的脸色差，是因为身体原因，还是单纯的不满。
“希望这次意外，不会影响到对我们厂的评价。”
刘厂长还是有些不放心。
“没事，陈泉他的身体就是这样。毕竟年龄小，底子薄。”王湛乐呵呵的安抚。“但年轻人嘛，恢复得也快。不要介意。”
“那好，让我重新介绍吧。”
刘民学咳嗽了一声，吸引了所有人的注意。
创建于1958年的奉天科仪，属于集成电路装备和真空仪器设备领域的先行军。在一切自力更生的年代，有过辉煌的历史。
随着国门的打开，在进口产品的降维冲击下，奉天科仪的形式急转直下。
随着价格双轨制的取消，这两年奉天各企业的经济形势普遍向好，所以奉天科仪也在积极转型，例如进军农业机械市场，但效果越来越差。
......
“不知道，我们的这些介绍，是否足够详细？”刘民学厂长最后问。
“不错,不错。够了，够了。”
王湛已经在奉天两天了,对科仪的印像很是不错。
除了厂家本身的实力,也有容易配合的考量。毕竟其他设备厂家离冰城太远,沟通不方便。不说时间上的浪费，长途火车票也是紧俏物资的一种,不是想买就能买到的。
“在MOCVD领域，你们有什么积累吗？”
陈泉突然问到。奉天科仪的介绍，始终围绕着PVD类产品进行。
“MOCVD？”
刘民学有点意外,然后把目光投向了技术科科长王青山。这个领域，他并不熟悉。
“据我所知，MOCVD技术并不成熟，市面上好像还没有类似的产品吧。”
王青山有点不太确定。
MOCVD是从VPE基础上发展起来的新技术。
在MOCVD技术中,反应气体在高温下结合，形成的材料沉积在基板上。含有所需化学元素的生成物再和氢化物的表面反应，形成材料和化合物半导体的外延。
不同于传统的硅半导体，这些半导体可以包含的组合III族和V族,II族和VI族,IV族或第IV族，V和VI族的元素。
MOCVD相关理论提出得很早,但真正走入实际验证,不过是近几年的事情。有一些厂家,自行改造定制MOCVD，但相关技术和产品,远远没有成熟到可以商用的程度。
“你想在MEMS中,弃用PVD，转用MOCVD设备？”王湛听到消息,也是吃了一惊。“是又有什么新的发现吗？MEMS工艺要做大的修改吗？”
“嗯，怎么说呢......”
陈泉陷入了沉思。
蓝光LED之所以在红光，绿光LED面世二十年之后,还不能量产,就是因为遇到难以克服的困难。
在蓝光LED领域，人类的最早研究,走的是GaN路线。但GaN的合成太困难。
另外,科研人员还发现,GaN除了具有很高的缺陷密度，因此，大多数人都转向了其他技术方向。
目前市场上，有些低亮度的蓝光LED商品售卖，其走的是SiC路线。但这条路线，从原理上，发光效率就不高。
因此大量的研究人员，又转向了ZnSe材料。ZnSe材料，无论是理论，还是实际发光效率，都取得了很大进展，但这条路线始终面对一个令人头疼的问题，那就是产品寿命。
蓝光LED的几条技术路线，每条都有自己不同的困难，全都被卡住了。
而‘他’就是通过定制MOCVD的方式，另辟蹊径，解决了GaN的制备问题。
......
“我和陈泉想定制两台MOCVD设备，做些预研。这部分研究工作，不会影响到MEMS产线的建设工作。”了解内情的曲燕秋，干脆把话接了过去。
“不影响到MEMS建厂，那就没有问题了。”
王湛长出一口气。如果工艺不停的变来变去，他的工作也很难做。
“而且我希望，这个定制设备的制造工作，就交给奉天科仪。”
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